低溫等離子表面清洗設備常常會運用眾多不一樣的汽體，如一般會運用co2、氡氣、氮和空氣壓縮等，也將會依據加工工藝規(guī)定應用氬氣。那麼為什么要應用這類汽體，及其它在等離子清洗設備中的功效是啥?
 

　　氬氣是一種稀有氣體，歷經弱電解質以后的等離子體不容易與基材產生化學變化。在等離子體清理中，氬氣主要是運用于與基材表面的物理學清理及表面粗化。因此氬氣等離子清洗機被廣泛運用于半導體芯片、微電子技術制造行業(yè)及晶圓制造制造行業(yè)等。
 
 

　　一、表面清理：在圓晶、夾層玻璃等商品表面顆粒物的消除全過程中，一般會選用等離子體對原材料表面的顆粒物開展負電子，多方面完成對顆粒物的分散化和松脫解決，隨后再開展抽濾清理等工藝處理，會擁有明顯的實際效果。在半導體封裝運用中尤其突顯，在歷經打線加工工藝后為避免 輸電線空氣氧化，需選用氬等離子體或氬氫低溫等離子對商品表面開展等離子清洗，完成更強的商品解決實際效果。
 

　　二、表面粗化：等離子清洗機的表面粗化解決也稱之為表面離子注入解決，其關鍵目地是提高原材料的表面表面粗糙度，從而提高原材料的粘合、包裝印刷和電焊焊接等特性。別的活性汽體經解決后也可提高商品表面支撐力，但氬離子化造成的顆粒物要更重，在靜電場的功效下氬正離子的機械能較高過別的活性汽體，因此其粗化實際效果更號。氬氣在無機化合物表面粗化的全過程中運用更為普遍，如夾層玻璃板材的表面解決、金屬材料板材的表面解決等。
 

　　三、氬氣：在等離子清洗機的表面活性及清理中，混合氣相對而言可以獲得更強的解決實際效果，普遍的是氬和氧的化合物。且因為氬的相對分子質量大，弱電解質后造成的顆粒物較為重，在靜電場的功效下氬正離子的機械能高過別的活性汽體，其實際效果更明顯。